超薄聚合物薄膜驱动的新型真空泵技术 科学 2026-04-25 萨尔兰大学团队利用仅约人发厚度的介电弹性体薄膜,开发出无需电机、压缩空气和润滑剂的全新真空泵原型,可实现超薄、轻量、低噪声且可定制几何形状的泵设计。