薄如芯片的硅膜刻写数百万微结构,引导振动按预定路径传播 科学 2026-06-02 研究人员在超薄硅膜上刻写数百万个渐变微结构单元,构建出一种新型声子超材料,可在宽频范围内将机械波精确导向指定路径,为无电源传感器、机械信号处理和能量收集等应用奠定基础。