科学家用聚焦离子束在单晶中“雕刻”三维纳米结构
物理学家近日展示了一种将聚焦离子束（FIB）从传统成像与样品处理工具推进到纳米制造的方法：研究人员以可控的离子束直接在单晶材料中铣削出复杂三维结构，包括螺旋、桥状与线圈等形态。与依赖薄膜堆叠或逐层打印的路径不同，该方法通过对固体材料进行直接“切削”，在纳米尺度上实现对器件几何形状的精细塑形。 从二维加工走向三维单晶器件 长期以来，纳米器件制造多以光刻、蚀刻等工艺在平面薄膜上完成，再通过层叠形成结构
物理学家近日展示了一种将聚焦离子束（FIB）从传统成像与样品处理工具推进到纳米制造的方法：研究人员以可控的离子束直接在单晶材料中铣削出复杂三维结构，包括螺旋、桥状与线圈等形态。与依赖薄膜堆叠或逐层打印的路径不同，该方法通过对固体材料进行直接“切削”，在纳米尺度上实现对器件几何形状的精细塑形。 从二维加工走向三维单晶器件 长期以来，纳米器件制造多以光刻、蚀刻等工艺在平面薄膜上完成，再通过层叠形成结构
